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水汽深冷捕集器與低溫水汽捕集泵概述

來源:上海拓紛機械設(shè)備有限公司   2024年03月07日 10:25  

水汽深冷捕集器(Water Vapor Cryotraps)和低溫水汽捕集泵(Low Temperature Water Vapor Pumps)是用于去除高真空環(huán)境中的水汽分子的設(shè)備。它們都利用超低溫技術(shù)將水汽分子凝結(jié)成固態(tài)或液態(tài),并通過物理吸附或化學(xué)吸附的方式將其捕集和去除。

1、水汽深冷捕集器(Water Vapor Cryotraps

水汽深冷捕集器是一種利用超低溫技術(shù)去除高真空系統(tǒng)中水汽分子的裝置。其主要原理是通過降低溫度使水汽分子凝結(jié)成固態(tài)或液態(tài),并通過物理吸附或化學(xué)吸附的方式將其捕集。水汽深冷捕集器通常由壓縮機、制冷劑循環(huán)系統(tǒng)、換熱器、蒸發(fā)器和冷阱等組成,其工作原理類似于制冷循環(huán)系統(tǒng)。

 

工作原理.jpg

工作過程大致如下:

壓縮機:壓縮機用于壓縮制冷劑氣體,提高其壓力和溫度。

制冷劑循環(huán)系統(tǒng):壓縮機產(chǎn)生的高壓高溫制冷劑氣體通過循環(huán)系統(tǒng)流動,從而帶走熱量。

換熱器:在換熱器中,高壓高溫的制冷劑氣體釋放熱量,冷卻并凝結(jié)成液態(tài)制冷劑。

蒸發(fā)器:液態(tài)制冷劑通過蒸發(fā)器進入低壓低溫狀態(tài),從而吸收熱量。

冷阱:在冷阱中,制冷劑進一步降溫,將水汽分子凝結(jié)并捕集。

深冷捕集器利用壓縮機和制冷循環(huán)系統(tǒng)將制冷劑循環(huán)流動,并通過降溫過程將水汽分子凝結(jié),然后通過物理吸附或化學(xué)吸附方式將其捕集。這種設(shè)備能夠有效地去除高真空系統(tǒng)中的水汽分子,適用于各種高真空環(huán)境的需求。

2低溫水汽捕集泵(Low Temperature Water Vapor Pumps

低溫水汽捕集泵是一種利用超低溫制冷技術(shù)去除高真空系統(tǒng)中水汽分子的設(shè)備。它通過制冷系統(tǒng)將氣體冷卻至ji低溫度,使水汽分子凝結(jié)成固態(tài)或液態(tài),并通過捕集裝置將其有效去除。低溫水汽捕集泵能夠徹di清除高真空系統(tǒng)中的水汽分子,提供干凈的真空環(huán)境。

低溫水汽捕集泵主要由以下幾個部分組成:壓縮機、制冷劑循環(huán)系統(tǒng)、換熱器、蒸發(fā)器和冷阱。制冷劑循環(huán)系統(tǒng)通過循環(huán)制冷劑使壓縮機產(chǎn)生制冷效果,從而降低泵內(nèi)的溫度。水汽分子在低溫條件下凝結(jié)并被捕集,而其他氣體則被排出或抽取。這種泵具有高效的水汽捕集能力,適用于各種高真空環(huán)境的需求。

 

組成部分.jpg

3應(yīng)用領(lǐng)域

水汽深冷捕集器和低溫水汽捕集泵在以下領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用:

科學(xué)研究:在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的實驗室研究中,保持高真空環(huán)境且去除水汽分子對實驗結(jié)果和樣品性能至關(guān)重要。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè):在半導(dǎo)體制造過程中,高純度的真空環(huán)境對提高芯片的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。水汽深冷捕集器和低溫水汽捕集泵可以凈化真空環(huán)境,確保生產(chǎn)過程的可靠性。

光學(xué)鍍膜:在光學(xué)鍍膜過程中,去除水汽分子是保證薄膜質(zhì)量的重要步驟。深冷捕集器和低溫水汽捕集泵能夠提供干凈的真空環(huán)境,確保鍍膜質(zhì)量的穩(wěn)定性。

航天模擬試驗:在航天器模擬試驗中,維持高真空環(huán)境且去除水汽分子對模擬結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性具有重要影響。

水汽深冷捕集器和低溫水汽捕集泵通過超低溫技術(shù)去除高真空系統(tǒng)中的水汽分子,為各個領(lǐng)域提供了干凈的真空環(huán)境。它們在科學(xué)研究、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光學(xué)鍍膜以及航天模擬試驗等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用,并在保證實驗結(jié)果和產(chǎn)品質(zhì)量方面發(fā)揮了重要作用。

應(yīng)用領(lǐng)域.jpg

 

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