GSL-1700X-4-HVC 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

GSL-1700X 系列管式爐

殼體

• 采用雙層殼體結構，并帶有風冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C.
• 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
• 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
• 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動.
• 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組

爐管

• 材質: 高純氧化鋁陶瓷管
• 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
• 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L (99.8%)

功率

6KW

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

8 根1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

• 工作溫度.: 1650°C
• 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

<=5°C/min

加熱區(qū)長度

• 加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
• 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)

溫控系統(tǒng)

• 采用PID方式自動控制，并可設置30段升降溫程序
• 控溫精度: ±1°C
• 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內

真空法蘭

• 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
• 法蘭上帶有一機械壓力表
• 兩個精密針閥
• 一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口
• 一個1/4"卡套接頭

外形尺寸

550 x 380 x 520mm

高真空機組

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

• 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• 承載量: 600 Lbs on top
• 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示
• 內裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

控制面板

• 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動）
• 系統(tǒng)控制旋轉速率：根據(jù)腔體內的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率
  

抽氣速率

• N2 33 L/s
• He 39 L/s (2340L/minute)
• H2 32 L/s

工作范圍

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (without any leaking )

質量流量控制器

殼體

• 采用 316不銹鋼制作
• 混氣箱尺寸: Φ80X120mm
• 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
• MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制
  
  

功率

18W

工作電壓

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質保期

一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件

質量認證

CE Certificateed