OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE認證的九通道高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)，齊爐管直徑為4英寸，它是由九通道質量流量控制器和高真空機組組成，其溫度可達1200℃，極限真空可達to 10^-5 torr，混氣系統(tǒng)可以對1-9種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
技術參數
| 管式爐 | 殼體 | - 采用雙層殼體結構，并帶有風冷，使得殼體表面的溫度小于60度
- 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
- 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
- 三個溫區(qū)，可以獨立控溫
- 真空機組和氣體流量供氣系統(tǒng)位于移動加上，方便移動.
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| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，使其延長加熱元件的壽命） |
| 工作溫度 | 1200°C
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| 連續(xù)工作溫度 |
1100°C |
| 升溫速率 |
<=20°C/min |
| 加熱區(qū)長度 | - 總溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)
- 溫區(qū) 1: 220 mm + 溫區(qū)2: 440 mm + 溫區(qū) 3: 220 mm
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| 恒溫區(qū) |
20" (500 mm) length (三個溫區(qū)在同一溫度within +/- 1°C) |
| 爐管尺寸和材質 | - 材質：高純石英管
- 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
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| 溫控系統(tǒng) | - 三個數字精密溫度控制器，可設置50段升降溫程序，每個溫區(qū)可以進行獨立控溫
- PID調節(jié)與自動調整功能,確保溫度穩(wěn)定在+/ - 1 oC
- 帶有過熱和斷偶保護
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| 熱電偶 |
3根K型熱電偶 |
| 輸入電源 |
AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：7KW |
| 真空配件 | - 標準的真空配件包括
- 兩個不銹鋼真空密封法蘭與kf 25抽氣接口
- 兩個精密針閥和一個1/4“軟管接頭
- 6個高溫硅膠O型密封圈，可承受溫度300°C
- 為了防止熱量以熱輻射的形式散失，高溫損壞密封圈，爐子在加熱前必須放入氧化鋁管堵
- 一根KF-40 抽真空波紋管
- 三個KF-40 快速卸裝卡箍
- 2個KF-25 快速卸裝卡箍
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| 高真空機組 | 結構 | - 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
- 承載量: 600 Lbs on top
- 分子泵顯示屏: LCD數字顯示 內裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany
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| 真空傳感器 | - 真空傳感器有一個kf 25接口
- 數字式真空顯示計測量范圍(measuring range 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
- 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。
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| 控制面板 | - 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動）
- 系統(tǒng)控制旋轉速率：根據腔體內的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率
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| 抽氣速率 | - N2 33 L/s
- He 39 L/s (2340L/minute)
- H2 32 L/s
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| 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar
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| 極限 |
10^-5 torr (with tube furnace) |
| 輸入電源 |
110V AC or 220V AC可切換的, 50/60Hz |
| 消耗功率 |
持續(xù)時間/功率: 100/110Watt |
| MFC 質量流量控制器 | - 9通道精密質量流量控制器，安裝在移動架上，并帶有數字顯示
- 3 MFC 范圍10 - 1000scc
- 3 MFC 范圍2 0 - 200scc
- 3 MFC范圍3 0 - 10 scc
- 三個壓力表分別安裝在底部移動架的質量流量控制系統(tǒng)上，用來檢測混合氣體的壓力
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| 運輸信息 | - 爐子尺寸: 550 x 380 x 520mm
- 質量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
- 高真空機組尺寸: 600 x 600 x 700mm
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| 重量 | - 凈重: 100Kg
- 運輸重量: 350 lb (two pallets)
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| 質量認證 | 一年質保期，相關耗材除外如爐管，密封圈，加熱元件等易耗件 |
| 質保期 | CE Certificateed |
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