OTF-1200X-HVC 1200°C二通道混氣高真空CVD系統

OTF-1200X系列 管式爐

殼體結構

• 采用雙層殼體結構，并帶有風冷.使得殼體表面的溫度小于60度
• 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

爐管

• 材質: 高純石英管
• 石英管包含在內.
• 可以選擇其他管徑

功率

2.5KW

工作電壓

AC 208-240V 單相, 50/60Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，的延長加熱元件的使用壽命）

工作溫度

• 工作溫度.: 1200°C
• 連續(xù)工作溫度: 1100°C

加熱速率

加熱速率: 1~20°C/min 可編程

加熱區(qū)長度

• 總加熱區(qū)長度: 440mm
• 恒溫區(qū)長度. : 150mm (±1°C)

控溫系統

• PID自動控制方式，可設置30段升降溫程序
• 控溫精度: ±1°C
• 熱電偶: K 型已經安裝在爐內

真空密封

• 一對不銹鋼真空密封法蘭，已經安裝
• 法蘭上已經安裝機械壓力表
• 一對精密針閥
• KF-40 的抽氣接口

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V , 50/60Hz

高真空機組

殼體

• 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• 承載量: 600 Lbs on topf:
• 分子泵顯示屏： LCD 數字顯示
• 內裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

抽氣速率

• N2 33 L/s
• He 39 L/s (2340L/minute)
• H2 32 L/s

工作范圍

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (無泄漏)

質量流量控制器

殼體

• 采用 316不銹鋼制作
• 混氣箱尺寸: Φ80X120mm
• 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

功率

18W

工作電源

AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

質保期

一年質保期，相關耗材除外，如爐管密封圈加熱元件等易耗件

質量認證

CE Certificate