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EPX500N 半導體干式真空泵

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號EPX500N

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式:徐建成查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-03-16 07:49:07瀏覽次數(shù):5次

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新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

概述

新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

應用

  • 負載鎖
  • 傳輸腔
  • PVD 濺射
  • 灰化/PR 剝離
  • 電介質刻蝕
EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“N"系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應用范圍擴大為中等制程,在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。

功能和優(yōu)勢

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
  • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
  • 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在進氣口壓力下連續(xù)工作。
  • 清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
  • – EPX 基于經過現(xiàn)場驗證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。
  • 可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結構的網絡,以進行診斷監(jiān)視和控制。

數(shù)據(jù)

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
極限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
預熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
入口法蘭 ISO160
法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
冷卻水流速 2 lmin-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
氮氣供給接口 1/4 in (6.5 mm) 管
氮氣供給壓力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮純度 99.95%
電源供給 200/208 V,50/60 Hz,3 相
極限功率 1.4 kW
電機額定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 45.2 kg

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