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EPX500LE 半導(dǎo)體干式真空泵

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產(chǎn)品型號(hào)EPX500LE

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2025-03-16 07:47:55瀏覽次數(shù):5次

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新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,運(yùn)行成本更低。EPX500 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。EPX LE 系列的泵具有一個(gè)終用戶控制器 (EUC)。通過(guò)終用戶控制器可......

概述

新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,運(yùn)行成本更低。EPX500 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX LE 系列的泵具有一個(gè)終用戶控制器 (EUC)。通過(guò)終用戶控制器可以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立使用的本地控制,并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。

應(yīng)用

  • EPX 系列涵蓋的應(yīng)用,從水處理到中度工作負(fù)載的制程。
    EPX“LE"系列的設(shè)計(jì)旨在用于清潔工作應(yīng)用泵送惰性氣體混合物(如負(fù)荷鎖定),通過(guò)制程機(jī)臺(tái)接口提供控制。

功能和優(yōu)勢(shì)

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本,如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
  • 低運(yùn)行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
  • 的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力,并可以在進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
  • 清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤(rùn)滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
  • – EPX 基于經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。
  • 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。

數(shù)據(jù)

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 l min-1
極限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
預(yù)熱時(shí)間(達(dá)到標(biāo)稱性能) 30 分鐘
入口法蘭 ISO160
法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
冷卻水流速 2 lmin-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
電源供給 200/208 V,50/60 Hz,3 相
極限功率 1.4 kW
電機(jī)額定功率 3.0 kW
TIM 無(wú)
重量 45.2 kg

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