EPX180L 半導體干式真空泵 返回列表頁

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX180 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX 泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以泵送系統(tǒng)清潔，不會因為系統(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。
泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭（由客戶）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當，以便不會達到結(jié)。
泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅(qū)動，該驅(qū)動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態(tài)。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會加快，直至該速度終達到其預定的大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會再次減慢。
EPX L 系列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監(jiān)視，而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。
EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。
泵保護傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關閉泵。

• EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
  EPX“L"系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。