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iH160 半導(dǎo)體干式真空泵返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號iH160

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地上海

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更新時(shí)間：2025-03-16 07:36:25瀏覽次數(shù)：8次

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概述

Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

應(yīng)用

負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。

功能和優(yōu)勢

優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

數(shù)據(jù)

峰值速度	165 m3h-1
	97 cfm
	2750 l min-1
極限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進(jìn)氣口連接	ISO63
連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	244 kg
極限功率輸入	3.1 kW
電機(jī)額定功率	5.0 kW
油容量	0.85 l