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GX 質(zhì)子流量計(jì)供氣(混氣)系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

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廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2021-07-21 16:53:02瀏覽次數(shù):302次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:119條

所在地區(qū):湖南長(zhǎng)沙市

聯(lián)系人:鄒遠(yuǎn)莊 (銷售)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情一、概述1、氣體從鋼瓶出來(lái),經(jīng)過(guò)減壓閥減壓,通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,再經(jīng)過(guò)浮子流量計(jì)控制氣體流量,然后經(jīng)過(guò)混氣罐,再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口,氣體從出氣管出來(lái),經(jīng)過(guò)三通閥門(mén),一端連接真空泵,一端連接出氣口

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

一、概述


1、氣體從鋼瓶出來(lái),經(jīng)過(guò)減壓閥減壓,通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,再經(jīng)過(guò)浮子流量計(jì)控制氣體流量,然后經(jīng)過(guò)混氣罐,再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口,氣體從出氣管出來(lái),經(jīng)過(guò)三通閥門(mén),一端連接 真空泵,一端連接出氣口。

2、 混氣罐上接有壓力表,壓力表顯示盤(pán)與浮子流量計(jì)安裝在同一面板上。

3、每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥。

4、該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì),氣路內(nèi)部全采用四氟管,耐腐蝕性好。

5、 所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。


二、技術(shù)參數(shù):

氣路通道: 2 、3 、4、5 、6 、7(可根據(jù)需要確定)

氣路流量控制:采用浮子流量計(jì)或采用質(zhì)子流量控制器。


質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):

接 口: Φ6

顯 示: 刻度

工作環(huán)境溫度: 5~45℃

流量控制器:浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量控制器( 量程可根據(jù)需要確定)

50-500 ml/ min 2ml/ 格

10-100ml/min 2ml/ 格

四 氟 管:Φ6 外 X Φ4 內(nèi)

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/ 格

截 止 閥:Φ6


三、質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):


產(chǎn)品名稱: 質(zhì)子流量控制器

產(chǎn)品類型: 氣體質(zhì)量流量計(jì) /D07 系列質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品描述 :普通型,模擬電路

產(chǎn)品詳細(xì)描述:普通型,模擬電路,橡膠密封,

管狀分流,不易堵塞。

主要指標(biāo):

· 量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM

(可以任意選擇量程)

· 準(zhǔn)確度:±1.5% F.S · 線性:±0.5~1.5% F.S · 重復(fù)精度:±0.2% F.S

· 響應(yīng)時(shí)間:10S · 氣壓降:<0.01MPa · 更大壓力:3MP

· 工作環(huán)境溫度:5~45℃ · 輸入輸出信號(hào):0~+5.00V · 電源:+15V 50mA -15V 50mA

· 外形尺寸:158*30*110 · 重量:0.9 Kg


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