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詳細介紹
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機制冷機組靠譜操作規(guī)范及注意事項
光刻機制冷機組靠譜操作規(guī)范及注意事項
光刻機制冷機組這是可以提供恒定溫度，電流和壓力的冷卻水設(shè)備使用時，應(yīng)注意以下事項。
1.在安裝過程中，請檢查機器是否損壞，并選擇合適的位置進行安裝和以后的維護。
2.設(shè)備的安裝地點須是地板，安裝墊或地基，且水平度應(yīng)在范圍之內(nèi)，并且能夠承受設(shè)備的工作重量。
3.單元應(yīng)放置在室溫下，單元周圍和上方應(yīng)有足夠的空間進行日常維護。
4.在單元的一端，應(yīng)保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間，也可以使用門的開口或其他位置合適的孔。
5.當設(shè)備以較大功率運行時，選擇具有適當管徑的水管，冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng)，并正確連接它們。
6.對于普通應(yīng)用，通過蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應(yīng)在范圍之間。
7.在負載下，水流均應(yīng)保持穩(wěn)定。
8.所有冷凍水和冷卻水管應(yīng)按照常規(guī)方法進行設(shè)計和安裝。冷凍水泵應(yīng)位于設(shè)備的進水管上，以確保設(shè)備中的正壓和流量。配管時，應(yīng)設(shè)置減震管，以確保適當?shù)膹椥?，并在水泵停止時防止蒸發(fā)器的水排出。
9.應(yīng)獨立于組光刻機制冷機組牢固地支撐管道，以避免對組光刻機制冷機組的組件施加壓力。吊架的位置應(yīng)便于管道對齊。
10.為了減少噪音和振動，較好在管道上安裝振動隔離器。
11.為了經(jīng)濟有效地使用第光刻機制冷機組組，建議請水處理專家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì)。水質(zhì)差會導(dǎo)致結(jié)垢，影響傳熱，產(chǎn)生腐蝕沉淀，滋生有機物，影響裝置的性能并增加運行和維護成本。
12.一般來說，正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過適當?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質(zhì)狀況，則須使管束具有較大的結(jié)垢系數(shù)或使用特殊的結(jié)構(gòu)材料。
在操作光刻機制冷機組時，請注意上述事項，這一定會使您受益。
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