卷對(duì)卷連續(xù)化生長(zhǎng)CVD設(shè)備

設(shè)備簡(jiǎn)介：
該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)或者線(xiàn)性材料的連續(xù)設(shè)備，此款設(shè)備是快速冷卻卷對(duì)卷CVD連續(xù)生長(zhǎng)爐，它由高溫生長(zhǎng)腔體，三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)，真空機(jī)組，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔或纖維絲的密封裝置），收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷

設(shè)備簡(jiǎn)介：

  該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)或者線(xiàn)性材料的連續(xù)設(shè)備，此款設(shè)備是快速冷卻卷對(duì)卷CVD連續(xù)生長(zhǎng)爐，它由高溫生長(zhǎng)腔體，三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)，真空機(jī)組，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔或纖維絲的密封裝置），收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)?；L(zhǎng)或者線(xiàn)性材料的連續(xù)生長(zhǎng)。（纖維生長(zhǎng)工藝，配有纖維張力計(jì)，可以通過(guò)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速，以便達(dá)到纖維連續(xù)進(jìn)出且受力均勻）