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詳細(xì)介紹
該型號(hào)PECVD為整體精簡(jiǎn)款，綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，觸摸屏集中一鍵控制，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡(jiǎn)便，功能更加強(qiáng)大。
主要特點(diǎn)：
1. 管內(nèi)真空度自動(dòng)平衡——管內(nèi)真空度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，自動(dòng)平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號(hào)PECVD的AIO控制系統(tǒng)會(huì)通過(guò)真空泵的自動(dòng)啟停來(lái)維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達(dá)的均勻性。
2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
3. 射頻功率的定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開(kāi)與關(guān)閉的時(shí)間，自動(dòng)運(yùn)行；
4. 爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離，在沉積結(jié)束后爐膛可自動(dòng)移開(kāi)沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；
5. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——整機(jī)長(zhǎng)度只有1.5米，移動(dòng)方便，避免分散組裝的困擾。
| 加熱爐部分： | |
| 爐膛模式： | 開(kāi)啟式可移動(dòng)爐膛 |
| 顯示模式： | 7英寸觸摸屏 |
| 極限溫度： | 1200℃ |
| 工作溫度： | ≤1150℃ |
| 升溫速率： | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
| 爐體移動(dòng)： | 有，速度可調(diào) |
| 單溫區(qū)長(zhǎng)度： | 主溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm（可選配氣體預(yù)熱部分） |
| 爐管規(guī)格： | 60*1150 mm |
| 控溫精度： | ±1℃ |
| 密封方式： | 快速法蘭密封 |
| 溫度曲線： | 30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 預(yù)存曲線： | 可預(yù)存15條溫度曲線 |
| 超溫報(bào)警： | 有 |
| 過(guò)流保護(hù)： | 有 |
| 斷偶提示： | 有 |
| 測(cè)溫元件： | K型熱電偶 |
| 爐膛材料： | 氧化鋁纖維 |
| 外形尺寸： | 1500*600*1000MM |
| 信號(hào)頻率： | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍： | 5W-300W |
| 功率穩(wěn)定度： | ±0.1% |
| 整機(jī)效率： | >=70% |
| 功率因素： | >=90% |
| 冷卻方式： | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 真空部分： | |
| 功率： | 500W |
| 抽氣速率： | 2Ls |
| 極限真空： | 4X10-2Pa |
| 氣路系統(tǒng)： | |
| 1～3路質(zhì)量流量計(jì)可選（七星華創(chuàng)）： | |
| 準(zhǔn)確度：±1.5%： | |
| 重復(fù)精度：±0.2%： | |
| 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa： | |
| 整機(jī)系統(tǒng)特色： | |
| 正壓測(cè)量： | -100Kpa---100Kpa |
| 真空測(cè)量： | 10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測(cè)量） |
| 正壓保護(hù)： | 支持 |
| 壓力恒定： | 支持 |
| 智能氣路： | 支持 |
| 氣路定時(shí)： | 支持 |
| 射頻工作時(shí)間設(shè)定： | 支持 |
| 移動(dòng)速度調(diào)節(jié)： | 支持 |
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