詳細(xì)介紹
詳情介紹
一、 產(chǎn)品描述
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1-Pro光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
二、產(chǎn)品功能
1.系統(tǒng)光源及壽命:雙LED光源(白光和綠光),10萬小時(shí)超長壽命,終身無需更換;
2.測量模式:垂直掃描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測量模式(USI)
3.多區(qū)域自動(dòng)分析:自動(dòng)獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息(高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等),同時(shí)具有自動(dòng)統(tǒng)計(jì)分析功能。提供軟件截圖;
4.一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進(jìn)行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。
5.測量中提供自動(dòng)多區(qū)域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
6.測量中提供拼接測量功能。
7.分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
8.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
9.分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能,可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應(yīng)用范例:
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC | |
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差 | |
超精密加工.光學(xué)透鏡 | 精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片 |
精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度 |
四、性能特色
1.高精度、高重復(fù)性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;
2)的隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得的測量重復(fù)性。
2.一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能;
2)可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程;
3)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
4)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;
5)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
3.精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4.雙重防撞保護(hù)措施
除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。