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進(jìn)口高真空CVD系統(tǒng)(BTF-1700C-CVD)

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更新時(shí)間:2024-07-23 12:00:42瀏覽次數(shù):76

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產(chǎn)品簡介

主要特點(diǎn)爐體采用硅鉬棒加熱Z高溫度可至1650℃,高真空系統(tǒng)采用進(jìn)口分子泵機(jī)組,一鍵操作,簡潔方便,無噪音,同時(shí)配高精度的質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)

爐體采用硅鉬棒加熱Z高溫度可至1650℃,高真空系統(tǒng)采用進(jìn)口分子泵機(jī)組,一鍵操作,簡潔方便,無噪音,同時(shí)配高精度的質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)。通過標(biāo)準(zhǔn)配件連接,全部采用不銹鋼材料,電拋光處理。其廣泛應(yīng)用于熒光粉材料,金屬材料,磁性材料,半導(dǎo)體材料,陶瓷材料,電化學(xué),薄膜材料,CVD,石墨烯,硅納米管,納米線,等研究領(lǐng)域

技術(shù)參數(shù)

加熱區(qū)參數(shù)

爐管尺寸:Φ 60/80×1000mm(管徑可選)

爐管材質(zhì):99高純剛玉管

Z高溫度:1700

工作溫度:1650

恒溫精度:±1

溫度均勻性:小于±5

升溫速度:0-15℃/分鐘自由設(shè)定

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能
爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節(jié)能。

加熱區(qū):300mm

恒溫區(qū):150mm

外型尺寸:610×440×720mm

標(biāo)準(zhǔn)配件剛玉管1根,不銹鋼密封法蘭1套,氟膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險(xiǎn)1個(gè)

密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)

端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。

備注:可選配1200℃、1400℃、1600℃、1500℃等不同溫區(qū)的管式爐。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2):200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選)

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

Z大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥:Φ6

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

高真空系統(tǒng)參數(shù)

該系統(tǒng)由英國的前級無油泵,后級分子泵,真空傳感器和電子控制系統(tǒng)和LED液晶顯示組成,此系統(tǒng)是用來抽吸或壓縮空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體,以便在封閉容器中形成真空和壓力,吸入氣體中允許混有少量液體。

進(jìn)口分子泵組: Edward

干濕:無油的干式真空泵組

分子泵抽速:61 L/s

前級泵抽速:1.2?/h

極限總壓:10-7mabr

啟動(dòng)時(shí)間:1.5 min

進(jìn)氣口: KF40

冷卻方式:空冷

電壓:單項(xiàng),220V

重 量:14.5 Kg

功 率:300 W

泵體體積:250*356*357 mm


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