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詳細(xì)介紹
Ø 測量原理
本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標(biāo)點，通過電器組件，將傳感器所測量的坐標(biāo)點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?/span>PC機(jī)，軟件對所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運算處理，標(biāo)注所需的工程測量項目。
Ø 測量功能
輪廓測量功能
尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
夾角：包含水平角、垂直角、夾角
位置公差：包含平行度、垂直度
形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧輪廓度
輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓
粗糙度測量功能
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
Ø 測量范圍
| 項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
| 驅(qū)動器 | 100mm | 0.2μm |
| 輪廓傳感器 | 25mm | 0.05μm |
| 粗糙度傳感器 | ±420μm | 65536:1 |
| 立柱 | 320mm | - |
Ø
技術(shù)規(guī)格
| 輪廓儀部分技術(shù)參數(shù) | 線性精度1 | ±（1.5+|0.2H|）μm |
| 圓弧2 | ±（2+R/8）μm | |
| 角度3 | ±2′ | |
| 直線度4 | 0.8μm/100mm | |
| 粗糙度部分技術(shù)參數(shù) | 線性精度 | ±(7nm+3.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.025μm | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤2nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定長度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
| 運動控制 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 |
| Z軸驅(qū)動方式 | 電動 | |
| X軸驅(qū)動速度 | 0.1~10mm/s | |
| Z軸驅(qū)動速度 | 0.5-10mm/s |
注：1、H為水平位置上的測量高度；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長度為5mm；4、λc為2.5mm，測量速度為≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°6、以上參數(shù)均在20℃±5℃，階梯溫度不超過2℃/h的環(huán)境下測得；7、地面震動RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
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