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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品詳情
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。
等離子灰化機(jī)PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
等離子灰化機(jī)PDC200/210/510特征
● DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡單的觸摸屏控制器
等離子灰化機(jī)PDC200/210/510內(nèi)槽
構(gòu)成圖
DP模式
PDC510標(biāo)配）
PDC200/210選配）
RIE模式
等離子灰化機(jī)PDC200/210/510規(guī)格
| 型號(hào) | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 等離子模式 | RIE（DP模式選配） | ||
| 電極構(gòu)造 | 平行平板（固定） | ||
| 高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
| 反應(yīng)室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
| 電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O 2 ） | ||
| 填充氣體 | N 2 或干燥空氣 | ||
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | |
| 真空泵 | 另行選配 | 油泵（約345L/分）標(biāo)配 | 油泵（約500L/分）標(biāo)配 |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) | ||
| 外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
| 重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
| 電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
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