原子力顯微鏡 XE15

產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

ParkXE15具備多個(gè)特殊功能,是共享實(shí)驗(yàn)室處理各類樣品、硏究員進(jìn)行多變量實(shí)書笑效分析時(shí)硏究晶片等的。合理的價(jià)格搭配強(qiáng)健的性能設(shè)置，使其成為業(yè)內(nèi)的大型樣品原子力顯微鏡。

MultiSample™（多重采樣™）掃描器帶來樣品測量

ParkXE15能夠?qū)崿F(xiàn)多樣品一次性自動(dòng)成像，實(shí)現(xiàn)大化。您只需要將樣品放在樣品臺(tái)，再啟動(dòng)掃描程序便可。該功能還可在相同環(huán)境條件下掃描樣品，從而大大提高數(shù)據(jù)的精確性和穩(wěn)定性。

可掃描大件樣品

與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同，ParkXE15可掃描尺寸為150mmx150mm的樣品。這既滿足了研究員對(duì)掃描大件樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠放置硅片在樣品臺(tái)上。

功能齊全，可滿足各種需求

ParkXE15配有面的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品，從而滿足每位研究人員的需求。

特點(diǎn)FEATURES

通過多重采樣™掃描進(jìn)行樣品測量

• 多樣品一次性自動(dòng)成像
• 特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，最多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品
• 全自動(dòng)XY樣品載臺(tái)，行程范圍達(dá)150 mm×150 mm.

無軸間耦合提高掃描精度

• 用于樣品和探針的獨(dú)立閉環(huán)XY和Z平板式掃描平板式和線性XY掃描可達(dá)100μm x 100μm，且殘余壓彎小
• 整個(gè)掃描范圍內(nèi)的異面移動(dòng)小于2nm
• 強(qiáng)力掃描器帶來可達(dá)25μm的Z掃描范圍
• 更精確的高度測量

Non-Contact™ （真正非接觸™）模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度

• 其Z掃描頻寬是基于壓電管系統(tǒng)的10倍
• 非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命
• 成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
• 降低樣品干擾，提高掃描精度

提供用戶體驗(yàn)

• 開放式空間方便樣品和針尖更換
• 預(yù)對(duì)準(zhǔn)的針尖安裝和無二的軸上俯視法可簡單直觀地實(shí)現(xiàn)激光對(duì)準(zhǔn)
• 燕尾鎖設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)可輕松裝卸掃描頭
• 界面帶自動(dòng)設(shè)置功能，方便用戶使用

選項(xiàng)/模式多樣化

• 綜合性測量模式及特性設(shè)置，是我司通用型原子力顯微鏡
• 多種可選配件及更新，擴(kuò)展性能*
• 為缺陷分析提供*電性質(zhì)測量

優(yōu)勢ADVANTAGE

無掃描器弓形彎曲的平直正交XY軸掃描

park的串?dāng)_消除技術(shù)不僅改善了掃描器弓形彎曲的缺點(diǎn)還能夠在各種不同掃描位置,掃描速率和掃描尺寸條件下進(jìn)行平直正交的XY軸掃描。

即使是最平坦的樣品也不會(huì)出現(xiàn)如光學(xué)平面,各種偏移掃描等曲率的背景。 由此可以為您在研究中遇到的所有極具挑戰(zhàn)性的問題提供高精確度的納米測量。

無耦合關(guān)系的XY和Z掃描器

Park和競爭對(duì)手最根本的區(qū)別在于掃描器的構(gòu)造，Park又獨(dú)立的XY軸與Z軸掃描器設(shè)計(jì)使其達(dá)到了的高精度的納米分辨率數(shù)據(jù)。

精確的表面測量

樣品表面平直掃描!

• 低殘差弓形彎曲
• 無需軟件處理(原始數(shù)據(jù))
• 不受掃描位置影響也會(huì)有精確的掃描結(jié)果

真正非接觸模式TM可保護(hù)針尖鋒利度

原子力顯微鏡的針尖本身很脆弱，與樣品接觸時(shí)會(huì)逐漸降低圖片質(zhì)量和分辨率。測量表面柔軟的樣品時(shí)，針尖也會(huì)破壞樣品并生成不準(zhǔn)確的樣品高度測量數(shù)據(jù)。

作為Park原子力顯微鏡最的一種掃描模式，真正非接觸模式下™可持續(xù)生成高分辨率且精確的數(shù)據(jù)從而保持樣品的完整性。

更快速的Z軸伺服使得True Non-Contact AFM有更精確的反饋

Tapping Imaging

• 針尖磨損加速=低分辨率掃描
• 破壞性的針尖樣品接觸=樣品受損
• 參數(shù)依賴性強(qiáng)

True Non-Contact™模式

• 針尖磨損更低=高分率掃描更長久
• 無損式探針一樣品接觸=樣品受損最小化
• 可避免參數(shù)依賴

100μmx 100μm掃描范圍的XY柔性導(dǎo)向掃描器

XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強(qiáng)力壓電堆疊，可使極小平面外移動(dòng)形成較大的正交運(yùn)動(dòng)，并能快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)精確的樣品納米級(jí)掃描。

撓性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器

在強(qiáng)力壓電堆疊的驅(qū)動(dòng)及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下，其硬度允許掃描器高速豎直運(yùn)動(dòng)，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。Z型掃描范圍搭配遠(yuǎn)程Z掃描器(選配)可延長12μm至25μm。

滑動(dòng)連接的超亮二極管頭

通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動(dòng)，可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實(shí)現(xiàn)高反射表面的精確成像和力一距離光譜的精確測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題，因此用戶在可見光譜實(shí)驗(yàn)中也可使用本產(chǎn)品。

多樣品夾頭

特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，最多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品，由多重采樣掃描器自動(dòng)按順序掃描。特殊的夾頭設(shè)計(jì)為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道。

選配編碼器的XY自動(dòng)樣品載臺(tái)

自動(dòng)集成XY載臺(tái)可輕松并精確控制樣品的測量位置。XY樣品載臺(tái)的行程范圍可配置為150mmx150mm或200 m m x 200 m m。若搭配自動(dòng)載臺(tái)使用編碼器，可提高樣品定位的精確度和重復(fù)性。編碼XY載臺(tái)工作時(shí)分辨率為1μm，重復(fù)率為2μm。編碼Z載臺(tái)的分辨率為0.1μm，重復(fù)率為1μm。

高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭

高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學(xué)，具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

垂直對(duì)齊的電動(dòng)z載臺(tái)和聚焦載臺(tái)

Z載臺(tái)和聚焦載臺(tái)可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時(shí)確保用戶視野清晰穩(wěn)定。聚焦載臺(tái)是由軟件控制自動(dòng)運(yùn)行的，因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度。

帶DSP控制芯片的Park XE控制電子元件

原子力顯微鏡發(fā)出的納米級(jí)信號(hào)將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設(shè)計(jì)，配備高速處理單元，可成功實(shí)現(xiàn)真正非接觸TM模式，是納米級(jí)成像及電壓電流精準(zhǔn)測量的理想選擇。

• 600 M H z、4800 M I PS速度的高性能處理單元
• 低噪聲設(shè)計(jì)，適合電壓電流精準(zhǔn)測量
• 通用系統(tǒng)，各SPM技術(shù)均可得到應(yīng)用
• 外部信號(hào)接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號(hào)
• 最多16個(gè)數(shù)據(jù)成像
• 數(shù)據(jù)尺寸:4096 x 4096像素
• 16位ADC/DAC，速度達(dá)500 kHz
• TCP/IP連接，隔離計(jì)算機(jī)接出電噪

多重采樣TM掃描

通過全自動(dòng)樣品載臺(tái)多重采樣掃描™允許用戶自行編程，通過自動(dòng)化步進(jìn)掃描實(shí)現(xiàn)多區(qū)域成像。流程如下:

• 記錄用戶定義的多個(gè)掃描位置
• 在處掃描位置成像
• 抬起懸臂
• 將自動(dòng)樣品載臺(tái)移至下一個(gè)用戶定義坐標(biāo)。
• 近針
• 重復(fù)掃描

記錄多個(gè)掃描位置十分簡單，您可以輸入樣品一樣品載臺(tái)坐標(biāo)或使用兩個(gè)參考點(diǎn)校正樣品位置。該自動(dòng)化功能可大大減少您在掃描過程中需要的繁瑣工作，提高效率。

高分辨率的直接同軸光學(xué)元件

用戶可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標(biāo)區(qū)域。

高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

探針和樣品更換簡便

的頭部設(shè)計(jì)讓您可輕易地從側(cè)面更換探針和樣品。通過安裝懸臂式探針夾頭中預(yù)先對(duì)齊的懸臂，您無需進(jìn)行繁雜的激光校準(zhǔn)工作。

快速精準(zhǔn)的SLD光校準(zhǔn)

憑借我們*的預(yù)校準(zhǔn)懸臂架，懸臂在裝載時(shí)SLD光便已聚焦完畢。此外，作為行內(nèi)一家可以提供自上而下的同軸視角可以讓您輕松找到光點(diǎn)。

由于SLD光垂直照在懸臂上，您可通過旋轉(zhuǎn)兩個(gè)定位按鈕直觀地在X軸Y軸移動(dòng)光點(diǎn)。這樣您可以在激光準(zhǔn)直頁面中輕易找到SLD光并將其定位在PSPD上。此時(shí)您只需要微調(diào)以得到信號(hào)，便可開始獲取數(shù)據(jù)。