FF-1600 復(fù)合分子泵

FF-1600 復(fù)合分子泵

FF型復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀；真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。   

• 1.高極限真空
• 的整體加工轉(zhuǎn)子，可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速，提高了泵的極限真空。
• 2.大抽速       
• 復(fù)合分子泵是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成，從而提高了泵的抽速。
• 3.高壓縮比
• 轉(zhuǎn)子的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。
• 4低噪音
• 采用高精度球軸承，動(dòng)平衡好，對(duì)軸承的磨損小，軸承壽命長(zhǎng)，整機(jī)振動(dòng)小，噪音低。
• 5.清潔無油
• 分子泵是靠動(dòng)葉片和定葉片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出，因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。
• 6.節(jié)能
• 由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕，因此電機(jī)負(fù)載小，消耗功率小，可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。




用途










主機(jī)
進(jìn)氣口通徑	DN250mm
排氣口通徑	KF40mm
抽氣速率	1600L/s
極限壓強(qiáng)	5×10-7Pa (金屬密封) 5×10-6Pa (橡膠密封)










相關(guān)參數(shù)