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詳細(xì)介紹
CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng)，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機(jī)，小型PECVD系統(tǒng)等。
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 小型雙通道浮子混氣系統(tǒng)--CGM-2F |
| 浮子流量計(jì) | 兩個(gè)浮子流量計(jì)可以將流量計(jì)速率控制在16 to 160mL/min |
| 混氣罐 | 內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣 |
| 機(jī)械壓力表（混氣罐） | -0.1-0.15MPa |
| 關(guān)鍵和閥門 | 采用ss304不銹鋼。 三管件接口直徑為1-4"（接管可選聚四氟或不銹鋼）。 |
| 外形尺寸 | 340L ×300D ×180H mm |
| 可選 | CVD或者PECVD。 液相氣體發(fā)生器。 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)----OTF-1200X-S50-2F。 Plasma等離子清洗 |
| 凈重 | 約10kg |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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