詳細(xì)介紹
奧林巴斯光學(xué)測(cè)量顯微鏡介紹
值得高度信賴(lài)的STM7測(cè)量顯微鏡——
以長(zhǎng)達(dá)一個(gè)世紀(jì)之久的奧林巴斯技術(shù)為依托
STM7測(cè)量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術(shù),并借鑒了長(zhǎng)達(dá)一個(gè)多世紀(jì)顯微鏡研發(fā)和50多年測(cè)量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗(yàn),品質(zhì)值得信賴(lài)。
• 的光學(xué)技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)極細(xì)微樣品的逼真成像。
• 先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的準(zhǔn)確測(cè)量。
• 自動(dòng)聚焦和聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)使測(cè)量更簡(jiǎn)單、更精確。
• 全面的可追溯系統(tǒng)可以提供可靠和可信賴(lài)的測(cè)量。
因此,多年來(lái),奧林巴斯光學(xué)測(cè)量顯微鏡一直廣受用戶(hù)的青睞。
STM7通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和先進(jìn)的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
明場(chǎng)圖像 暗場(chǎng)圖像
微分干涉圖像 偏光圖像
花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性
為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度,STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平,同時(shí)確保大程度地降低誤差。
STM7-LF FEM分析
作為高度測(cè)量的先鋒,繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)
STM7的陣容
每一種機(jī)型均配備0.1 μm讀數(shù)的3軸測(cè)量系統(tǒng)
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型
STM7-SF
配備50mm×50mm的載物臺(tái)或100mm×100mm的載物臺(tái)
STM7-MF
配備200mm×200mm的載物臺(tái)
STM7-LF
配備300mm×300mm的載物臺(tái)
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型
STM7-SFA
配備50mm×50mm的載物臺(tái)或100mm×100mm的載物臺(tái)
STM7-MFA
配備200mm×200mm的載物臺(tái)
STM7-LFA
配備300mm×300mm的載物臺(tái)
STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)
常見(jiàn)問(wèn)題
· 短測(cè)量行程無(wú)法滿(mǎn)足較大樣品的測(cè)量需求。
· 目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
· 由于可測(cè)量的范圍窄,無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
STM7解決方案
· 共有四種*的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,和300 mm x 300 mm)。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
· 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。
· 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
STM7-CS50(50mm x 50mm) STM7-CS100(100mm x 100mm)
STM7-CS200(200 mm x 200 mm) STM7-CS300(300 mm x 300 mm)
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
常見(jiàn)問(wèn)題
· 大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以測(cè)量物鏡或金相物鏡,無(wú)法同時(shí)滿(mǎn)足多種觀察要求。
STM7解決方案
· STM7可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)后,便可使用金相物鏡。這意味著,STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式,無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶(hù)選擇的觀察方法。
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀察。
金相物鏡
明場(chǎng)圖像 暗場(chǎng)圖像
手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩種鏡架可供選擇
STM7系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列
聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線(xiàn)性標(biāo)尺,各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶(hù)提供了方便。
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型
使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。
一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性
常見(jiàn)問(wèn)題
· 其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無(wú)法快速找到相應(yīng)的操作單元,因而顯著降低測(cè)量效率。
· 眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機(jī)的周?chē)加昧藢氋F的工作空間。
STM7解決方案
操作裝置
對(duì)于奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作,包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。
控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以大程度地減少占用工作空間。
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型:STM7-HS手動(dòng)操作裝置
用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型:STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置
大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器
常見(jiàn)問(wèn)題
· 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無(wú)法保持一致,導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)生變化。
· 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),這使得工作流程非常低效。
STM7解決方案
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
STM7的光強(qiáng)可定量顯示,這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀察和測(cè)量。
物鏡切換時(shí),無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能,可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作,現(xiàn)在就可以省略了。
5x物鏡光強(qiáng)50 20x物鏡光強(qiáng)70 100x物鏡光強(qiáng)120
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器,確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
常見(jiàn)問(wèn)題
· 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí),因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
STM7解決方案
能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上
可滿(mǎn)足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
無(wú)論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上,可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶(hù)的使用狀況和使用習(xí)慣放置在優(yōu)選位置。當(dāng)用戶(hù)站著進(jìn)行測(cè)量時(shí),可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶(hù)通過(guò)數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量,或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí),只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。
計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上
自動(dòng)聚焦系統(tǒng)具有的重復(fù)性
實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量
常見(jiàn)問(wèn)題
· 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外,這種測(cè)量方法非常耗時(shí),效率低下。
STM7解決方案
具有*的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像,也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量,因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
焦點(diǎn)下方 焦點(diǎn)位置 焦點(diǎn)上方
自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量
常見(jiàn)問(wèn)題
· 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。
· 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái),使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。
· 很難對(duì)微小的物體聚焦,比如引線(xiàn)。
STM7解決方案
自動(dòng)對(duì)焦單元:出色的再現(xiàn)性和聚焦速度
無(wú)論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何,使用STM7自動(dòng)對(duì)焦單元均可以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦,而小直徑的激光,也能保證對(duì)微小物體,比如引線(xiàn)的自動(dòng)對(duì)焦。
單次對(duì)焦模式
執(zhí)行自動(dòng)聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。
追蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦,即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下,也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察,從而極大地提高了Z軸的測(cè)量效率。
實(shí)現(xiàn)觀察與測(cè)量范圍拓展的配件
帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)
將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇
MM6-EMO /正像單目鏡筒
正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線(xiàn)的目鏡)配套使用。
STM7-FS/ 腳踏開(kāi)關(guān)
實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸,使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。
SZ-LW61/ 白光LED照明單元
具有小型,輕便,使用壽命長(zhǎng),功耗低等特點(diǎn)。此外,這款高性?xún)r(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。
SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動(dòng)控制單元
SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇的照明。
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。
STM7-RS100用STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺(tái)
STM7-RS200用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺(tái)
STM7-RS300用于STM7-CS300 300 mm×300mm載物臺(tái)
專(zhuān)為更先進(jìn)測(cè)量而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)
測(cè)量支持系統(tǒng)
對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來(lái)說(shuō),看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。推動(dòng)以更高精度實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的測(cè)量正是開(kāi)發(fā)全新奧林巴斯測(cè)量軟件的原因所在。該軟件亦可與數(shù)碼相機(jī)結(jié)合使用。
放置樣品后即可開(kāi)始測(cè)量——無(wú)需將樣品平行對(duì)齊
直接測(cè)量
接受STM7輸出的坐標(biāo)信息進(jìn)行測(cè)量。
再調(diào)用測(cè)量
經(jīng)過(guò)測(cè)量或計(jì)算之后得到的坐標(biāo)還可以再用于隨后的測(cè)量。這樣就避免了重復(fù)同樣的工作,從而實(shí)現(xiàn)了更順暢和更高效的工作流程。
虛擬點(diǎn)測(cè)量
通過(guò)繪制直線(xiàn)和圓形可以形成交點(diǎn)、中點(diǎn)、長(zhǎng)度,以及一系列其它的測(cè)量項(xiàng),然后可以在已采集的樣品圖像上將這些測(cè)量項(xiàng)作為參考點(diǎn)保留。
對(duì)齊測(cè)量
原點(diǎn)與X軸均可根據(jù)樣品而設(shè)置,這樣即使當(dāng)樣品沒(méi)有和載物臺(tái)對(duì)齊平行時(shí),也可以進(jìn)行測(cè)量。
原來(lái)的軸 新軸
XZ平面測(cè)量
傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡以從俯視觀察到的XY平面的測(cè)量為主。為了響應(yīng)用戶(hù)從側(cè)視的角度測(cè)量斷面方向的需求,奧林巴斯在STM7-BSW中內(nèi)置了XZ平面測(cè)量功能。以前很難實(shí)施的測(cè)量現(xiàn)在已經(jīng)變得容易多了——例如半球形物體垂直截面的半徑測(cè)量,或與基準(zhǔn)線(xiàn)相比具有彎曲底部的凹槽的深度測(cè)量等。
半球形樣品的半徑測(cè)量 凹槽底部與參考線(xiàn)之間的高度測(cè)量
記錄重復(fù)測(cè)量的步驟
宏注冊(cè)
可以將經(jīng)常使用的對(duì)齊和其它測(cè)量步驟組合并定義成單個(gè)宏按鈕,這樣每次啟動(dòng)顯微鏡后,無(wú)需從零開(kāi)始。
重復(fù)執(zhí)行測(cè)量
通過(guò)根據(jù)已記錄的教學(xué)列表的指示,簡(jiǎn)單地移動(dòng)載物臺(tái)、獲取坐標(biāo)值,可以輕松地進(jìn)行重復(fù)測(cè)量,完成所有的作業(yè)。此功能可用于對(duì)相同類(lèi)型樣品重復(fù)執(zhí)行相同的測(cè)量項(xiàng)目。此外,如果在已記錄的教學(xué)列表中設(shè)置了設(shè)定值和公差,當(dāng)測(cè)量值超過(guò)規(guī)格時(shí),軟件可以自動(dòng)判定。
NG結(jié)果示例
重復(fù)執(zhí)行測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)導(dǎo)航
這個(gè)功能可以顯示移動(dòng)到下一個(gè)測(cè)量點(diǎn)的方向和距離,從而消除了操作者在這一環(huán)節(jié)上的苦惱。該功能還省去了每此移動(dòng)前需要在圖紙上確認(rèn)下一個(gè)測(cè)量點(diǎn)的麻煩,在重復(fù)測(cè)量的時(shí)候提高了操作者作業(yè)的速度。
可以消除測(cè)量過(guò)程中主觀性影響的便捷功能
自動(dòng)邊緣檢測(cè)
這個(gè)功能檢測(cè)樣品的邊緣,自動(dòng)獲取樣品的坐標(biāo)并測(cè)量。因此,操作者不再需要坐標(biāo),降低了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量的影響。自動(dòng)邊緣檢測(cè)的另外一個(gè)特色是具有定時(shí)功能,實(shí)現(xiàn)了到規(guī)定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標(biāo)。定時(shí)功能和腳踏開(kāi)關(guān)功能,使操作者能夠在手不需要離開(kāi)載物臺(tái)手柄的情況下專(zhuān)心測(cè)量。
圓形內(nèi)的自動(dòng)邊緣檢測(cè) 多點(diǎn)自動(dòng)邊緣檢測(cè)
異常點(diǎn)消除
邊緣檢測(cè)過(guò)程中,可以自動(dòng)將金屬毛刺等異常點(diǎn)排除在外。這樣,不管樣品的狀態(tài)如何,都會(huì)得出一致的測(cè)量值計(jì)算結(jié)果。此外,也可以將被排除的異常點(diǎn)以不同的顏色顯示在屏幕上。
帶有異常點(diǎn)的樣品 異常點(diǎn)消除功能
照明控制
顯微鏡照明的光強(qiáng)也可以通過(guò)軟件精確地控制。當(dāng)注冊(cè)重復(fù)執(zhí)行測(cè)量的教學(xué)列表時(shí),也可以保存光強(qiáng)的設(shè)置,這樣在重復(fù)執(zhí)行測(cè)量或自動(dòng)邊緣檢測(cè)過(guò)程中,實(shí)現(xiàn)了在相同的照明條件下實(shí)施測(cè)量。
自動(dòng)倍率識(shí)別(可選配,僅適用于編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)的配置)
通過(guò)使用編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán),在切換物鏡時(shí),可以自動(dòng)調(diào)用先前設(shè)定好的校準(zhǔn)值。這樣可以始終在顯示器上顯示合適的刻度尺。
生成定制報(bào)告
一鍵生成報(bào)告
測(cè)量結(jié)果可以一鍵輸出為Excel格式,這避免了在記錄數(shù)據(jù)過(guò)程中發(fā)生錯(cuò)誤的可能性。圖像也可以與測(cè)量結(jié)果一起粘貼,從而實(shí)現(xiàn)了更高效地生成報(bào)告。
可選功能:多圖拼接(MIA)功能
拼接多個(gè)圖像可以獲得一個(gè)具有高倍率的廣域圖像。因?yàn)閳D像是根據(jù)坐標(biāo)數(shù)據(jù)拼接而成,因此系統(tǒng)能夠產(chǎn)生高可靠度的圖像。
可選功能:景深擴(kuò)展(EFI)功能
對(duì)于具有不均勻、復(fù)雜表面形狀的樣品,EFI功能能非常有效地獲取在整個(gè)高度范圍內(nèi)都有良好聚焦的圖像。使用EFI功能時(shí),移動(dòng)Z軸獲得多張不同焦點(diǎn)位置的圖像,再進(jìn)行圖像處理,后合成為一張全面對(duì)焦的圖像。如果使用電動(dòng)Z軸模塊可以實(shí)現(xiàn)一鍵自動(dòng)圖像合成。