真空紫外光譜儀

• 可工作于掃描或陣列模式(可互換)
• 光柵選擇范圍廣
• 入射角度可變
• 精確的羅蘭圓,精度達(dá)±4 um
• 高精度連續(xù)可調(diào)狹縫
• 狹縫帶隔離伐
• 滑入式濾光片選件
• 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固, 設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,可在任意方向安裝使用

       在波長(zhǎng)1到100-nm范圍使用*多的儀器是型號(hào)為248/310G 的一米焦距掠入射光譜儀. 這一儀器設(shè)計(jì)合理, 操作簡(jiǎn)單，工作于軟X射線譜段. 與之功能相近的是焦距為2.2米、型號(hào)為247的同類產(chǎn)品，同時(shí)我們亦可提供其他各種焦距的同類產(chǎn)品. 單色儀通過(guò)出口狹縫在羅蘭圓上的移動(dòng)來(lái)選擇掃描波長(zhǎng). 羅蘭圓的外徑等于光柵的曲率半徑.
       該設(shè)備配備單個(gè)光柵提供覆蓋1至 310nm光譜范圍；采用133.6g/mm的光柵對(duì)光譜儀的一致性進(jìn)行校準(zhǔn)的工作可以在大氣環(huán)境下來(lái)完成。符合運(yùn)動(dòng)學(xué)原理安裝的光柵保證了在光柵更換后的仍可以精確復(fù)位。
       光柵室材質(zhì)為不銹鋼，配備了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的4.5英寸金屬密封的泵接口。該光柵室提供了符合運(yùn)動(dòng)學(xué)光柵固定架、可在真空中根據(jù)不同光柵的曲率進(jìn)行微米級(jí)調(diào)節(jié)的裝置、濾光片及孔徑光蘭、入射狹縫、出射狹縫及可選的滑動(dòng)濾光片固定架。
       248/310G型可以用于單通道掃描或連接多通道探測(cè)器(如多道像增強(qiáng)器或CCD), 亦可作為Extreme UV或者Soft X-ray的單色光源.不管哪種方式,均為帶o-ring密封的真空系統(tǒng)或全金屬密封的超高真空系統(tǒng).
       當(dāng)248/310G用作掃描單色器時(shí),可以得到*佳分辨率和*寬的波長(zhǎng)覆蓋范圍. 出口狹縫通過(guò)密封焊接的波紋管裝置連接到光柵室,可以在光柵中心50mm范圍內(nèi)掃描. 采用88度入射角,掃描精度可以達(dá)到0.98nm.
       使用 789A-3型掃描系統(tǒng) (36,000 steps /rev.) 步進(jìn)距離為0.0004"，與波長(zhǎng)有密切關(guān)系的參數(shù)還有光柵刻線密度和入射角度. 雙邊可調(diào)的入射狹縫 (5-500um)固定在光柵室上. 羅蘭圓上移動(dòng)的狹縫可由精確的千分尺調(diào)節(jié). 狹縫裝置上帶有安裝真空閥,進(jìn)氣閥,粗抽閥的接口.為提高在工作波長(zhǎng)小于30nm時(shí)的性能,使用金屬過(guò)濾波片以濾出散射和低能光，用于*高能量/*短波長(zhǎng)時(shí),應(yīng)使用VYNS型濾光片。
 
技術(shù)參數(shù)