具有基本參數(shù)（FP）的XRF分析可將元素峰強度轉(zhuǎn)換為元素濃度和/或薄膜厚度。可以無標樣地執(zhí)行分析，其中所有變量均基于理論方程式，基本參數(shù)數(shù)據(jù)庫以及檢測器，X射線管和幾何形狀的精確建模。當膜厚為10毫米時，對于簡單的大塊或單層薄膜樣品，可以使用無標樣模式。 FP分析也可以使用標準品進行。這是通過校準步驟實現(xiàn)的，其中

每個元素的XRF響應(yīng)函數(shù)是使用某種已知標準測量的。