FFU為英文縮寫,全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)單元”。確切地說是一自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEP過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。
FFU概述
FFU工作時(shí)間長,低噪聲、免維護(hù)、震動(dòng)小、可無級調(diào)速,風(fēng)速均勻,安裝方便等。FFU可模塊化連接使用,使得FFU廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺(tái)、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應(yīng)用場合。
FFU層流罩風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應(yīng)用于潔凈室、潔凈工作臺(tái)、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室和局部百級等應(yīng)用場合。
FFU層流罩設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。
FFU過濾單元采用美國,適用于在各種環(huán)境中獲得別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中,即可提高潔凈度級別,降低噪音和振動(dòng),也可大大降低造價(jià),安裝維護(hù)方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。
FFU過濾單元說明
FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合,也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊,下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力,從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡便,風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活,潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn),因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一,該機(jī)組設(shè)計(jì)整體靈活,便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當(dāng)過濾器采用刀邊型框架時(shí),這種機(jī)組也可用于液槽密封吊頂骨架,根據(jù)設(shè)計(jì)的規(guī)格,他可輕而易舉配合任何吊頂骨架,達(dá)到潔凈等級要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼,各具特色。采用這種機(jī)組,可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣,而且空氣流通好。它適合用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動(dòng)器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。
一般萬級無塵室所用的高效過濾器,它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達(dá)到99.99%,出風(fēng)風(fēng)速0.4m/s,更大不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上,以免破壞過濾器組織架構(gòu)。
FFU具有特點(diǎn)
:靈活性。
因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的,它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會(huì)帶來二次投資。
第二:可再利用性。
從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負(fù)壓通風(fēng)。
這是FFU的特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運(yùn)行成本。
雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。