美國(guó)METONE標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置255 校正的基本步驟
現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見的 Metone227B 作校正
•首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測(cè)試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。
•首先，請(qǐng)將潔凈臺(tái)開機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時(shí)。
•準(zhǔn)備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
•將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。
•設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)
•取樣時(shí)間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00
•取樣次數(shù)都設(shè)置 03
•取樣模式都設(shè)置為 Auto
•間隔時(shí)間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05
•讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測(cè)試結(jié)果會(huì)是 Metone227B 的 10 倍。
•此時(shí)，打開 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約 60SCFH 時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。
•此時(shí)，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以內(nèi)，視為合格。
•拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測(cè)試。
•以上校正只是對(duì)比校正，尚可用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。
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