470采用水中臭氧傳感器技術,設計用來檢測半導體濕法處理和其他工業(yè)領域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續(xù)的臭氧測量,濃度高達150mg/L。 470(溶解水中全流量臭氧) 已經(jīng)完成”預備清潔”,可以應用于高純度的半導體過程,在線安裝,流量高達150SLPM。
470傳感器結合料IN USA公司的雙路取樣傳感技術達到了性能和消除對參比氣測量的需要。
它無需控制器,直接輸出4-20mA或-5VDC標準信號,可直接連接到用戶的PLC或DCS等系統(tǒng)。
421-0002-01低壓UV紫外燈(配470主機) 技術參數(shù):
制造商: IN USA INC(美國)
應用 :高濃度水中臭氧連續(xù)測量
測量原理 :紫外吸收技術,雙光路取樣測量技術
紫外線光源:低壓汞燈
測量單位 :PPBw,mg/L
量程 :可達到150mg/L
精度:0.5mg/L或讀數(shù)1%(取大者)
流量:高達150SLPM
壓力:55PSI
接口:1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口(其它接口可定制)
外殼:PEFE
焊接材料:PFA,Teflon,藍寶石,滿足半導體制程序要
尺寸:144 X 171 X 82mm
4-20mA或0-5VDC信號輸出
RS-485信號或RS-232數(shù)字通訊
421-0002-01低壓UV紫外燈(配470主機)