5KW自動匹配器
由國內(nèi)外提供技術(shù),國內(nèi)生產(chǎn)的GMPOWER品牌射頻自動匹配器,廣泛適用于等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應(yīng)加熱以及太陽能制造設(shè)備PECVD制造中,具有功率覆蓋范圍大(50W-5KW)、匹配時間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡單等優(yōu)勢,可通過數(shù)字接口實施計算機數(shù)據(jù)采集和控制,輕松實現(xiàn)時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。該匹配器與電源*獨立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,限度節(jié)約射頻系統(tǒng)成本.
產(chǎn)品描述
*功率: 20W-5KW 頻率:13.56MHz
*系統(tǒng)采用高速配算法,即使系統(tǒng)處于高Q值也可在接近匹配點時減速,達(dá)到精確匹配效果
*標(biāo)準(zhǔn)配置采用可調(diào)的L型匹配網(wǎng)絡(luò),滿足絕大部分負(fù)載要求,也可根據(jù)客戶負(fù)載陰抗設(shè)計配置匹配網(wǎng)絡(luò),實現(xiàn)自動匹配
*配套公司標(biāo)準(zhǔn)電源可方便面板操作,手動/自動,預(yù)置位置,顯示電容位置等
5KW無顯示 | |||
電源輸出 | AC180-240V 50Hz | 冷卻方式 | 水冷 |
輸出電流 | 0.5A | 機箱尺寸 | 425mm(長)*320mm(寬) *177(高) |
射頻功率范圍 | 20W-5KW | 重量 | 12kg |
射頻工作頻率 | 13.56MHz | ||
射頻輸入接頭 | 7/16型或UHF型 | ||
射頻輸出接頭 | 銅管型/銅帶型 | ||
用戶接口 | DB15針接口,采用RS232、RS485通訊協(xié)議 |