標(biāo)準(zhǔn)型探針臺SPS6 DC/HF
可兼容DC測試、射頻、高頻、微波測試
直流到高頻
產(chǎn)品特點:
XY平臺調(diào)節(jié),Z軸快速升降
可搭配體式顯微鏡/高倍率長工作距離視頻顯微鏡/高分辨率金相顯微鏡、熒光顯微鏡等...
探針座可根據(jù)移動精度選擇,吸附方式可選磁吸附或真空吸附
顯微鏡組件帶有XYZ三方向調(diào)節(jié)裝置,配置連接組件,可安裝各類顯微鏡主體。
產(chǎn)品規(guī)格:
組件/型號 | SPS6 |
顯微鏡配置 | 體式顯微鏡 10-180X |
真空吸附卡盤 | 6寸不銹鋼 |
主體平臺XY移動行程 | 150mm*150mm |
旋轉(zhuǎn)角度 | 0-30O |
Z軸行程 | 5mm |
探針臺本體 | 固定式 |
可放置樣品尺寸 | 5mm*5mm至150mm(6") |
真空卡盤平坦度 | 10um |
尺寸 | 580mm*460mm*400mm |
重量 | 45kgw |
配置可選項:
* 體式顯微鏡/高倍率超長工作距離視頻顯微鏡/高分辨金相顯微鏡
* 真空吸附加熱卡盤(溫度:200℃/300℃或其它)
* 可選低溫制冷卡盤
* 低溫罩箱(用于充入氮氣低溫制冷)
* 客戶定制化移動平臺
* 各類DC探針、高頻探針、電纜線等…
* CCD或C-MOS視頻成像裝置
* 各類探針夾具
* *真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 適配器
* 轉(zhuǎn)接頭
* 電學(xué)測試設(shè)備
* 其它外圍組件
* 組件升級